SOLUTION
電子光學(xué)(半導(dǎo)體、PCB、芯片、晶片、攝像頭、光學(xué)鏡片、LCD、OLED、液晶、顯器件FED、多晶硅等)的生產(chǎn)對車間環(huán)境要求很嚴(yán),制造工序不同,部分區(qū)域的潔凈度要求也不同,通常以十級、百級、千級、萬級、十萬級為標(biāo)準(zhǔn)。而每一個區(qū)域環(huán)境,如溫度、濕度,潔凈室工藝方面也要考慮照明、抗靜電、抗威震、廢棄廢水、大宗氣體和特殊氣體的排放等,同樣有規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),這些環(huán)境參數(shù)關(guān)系到產(chǎn)品的合格率和使用壽命,因此超潔凈車間才能賦予產(chǎn)品品質(zhì)上的首要保障。
DESIGN
QUALITY
潔凈度測試
FFU測試
靜壓測試
照明度測試
溫濕度測試
防靜電測試
測試儀器:潔凈度測試使用微粒計數(shù)器,儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)及均須檢附合格之校正檔。
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潔凈度等級定級的粒徑范圍0.1~5.0μm。
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測試步驟:確定采樣點數(shù)量、繪制采樣點布置圖、確定測試儀器和采樣量、現(xiàn)場采樣、數(shù)據(jù)計算分析。
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每個采樣點最少采樣時間為1分鐘,且采樣量應(yīng)按照采用設(shè)備為準(zhǔn)取值。
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信賴度上限:任一無塵室或獨立的隔間,若是取樣點數(shù)小于10(2到9),每一取樣點的平均值代表該點的微粒量測值。
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檢查空氣管和探頭有沒堵塞。
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將探頭的支撐腳緊貼于FFU表面、穩(wěn)定。
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由于是壓差式風(fēng)速計,因此讀數(shù)時注意空氣管不可被擠壓,不可晃動。
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每片F(xiàn)FU測量兩點,計算平均值。
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要求FFU風(fēng)速上下相差不可大于20%。
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靜壓差的測定應(yīng)在潔凈室(區(qū))的風(fēng)速、風(fēng)量和送風(fēng)均勻性檢測合格后進行,并應(yīng)在所有的門關(guān)閉時檢測。
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儀器宜采用各種微差壓力計,儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。
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級別不同的潔凈室區(qū)域與非潔凈室區(qū)域之間的靜壓差,不小于5Pa。
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潔凈室與室外的靜壓差,不應(yīng)小于10Pa。
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打開空氣潔凈度等級高于百級的單向流潔凈室門時,門內(nèi)0.6米的室內(nèi)工作區(qū)含塵濃度不應(yīng)大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。
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照度的測定要求室內(nèi)照度的測定必須在室溫穩(wěn)定,光源光輸出穩(wěn)定后再進行測定。
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照度的測定方法:第一,照度的測點應(yīng)距離地面0.85m, 按間距1~2m布點,測點距離墻1m。第二,記錄實測值并計算總的平均照度。第三,照度測定一般是不含局部照明以外的一般照明。
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合格標(biāo)準(zhǔn): 應(yīng)符合設(shè)計要求,根據(jù)(潔凈廠房設(shè)計規(guī)范)的要求,潔凈室內(nèi)一般照明的均勻度不應(yīng)小于0.7。
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凈化車間內(nèi)的空氣環(huán)境溫度和相對濕度在檢測之前,凈化空調(diào)系統(tǒng)必須持續(xù)運作起碼12個小時以上。
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依據(jù)環(huán)境溫度和相對濕度波動范圍,檢測宜持續(xù)開展8-48小時,每一次檢測間隔時間不可超出30分鐘。
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凈化車間內(nèi)的測點通常應(yīng)布置在距外墻表面層超出0.5米、距地0.8米的相同高度上;也可依據(jù)區(qū)域大小,各自布置在距地不一樣高度的多個平面上。
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靜電測試的目地是量測空氣中正離子與負離子的含量,依此數(shù)據(jù)可模擬物體在該氣流場中之殘余表面電壓。
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防靜電測試方面通常為地面靜電測試,測試的環(huán)境溫度15-35℃,相對濕度45%-70%(測試設(shè)備不同,標(biāo)準(zhǔn)也會不同,僅供參考)。
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